规格型号：SU8020　

生产厂商：Hitachi

主要功能：直接表征和测量微观器件的重要手段和主要工具。

SU8020型扫描探针显微镜，具备高分辨能力，能够实现对不导电样品的高分辨观测；标配了Lower、Upper和Top三个Everhart-Thornley型探测器，利用不同探头，可以分别接受二次电子（SE）、高角度背散射电子（HA-BSE）和低角度背散射电子（LA-BSE），不同信号的接受，对不同信息的反映各有侧重，通过比较可以全面分析样品的相结构，实现微细形貌和其他信息的采集。

主要技术指标：

电子枪：场发射电子枪

分辨率

SE分辨率 15KV：1.0nm (工作距离4mm)

SE分辨率 1KV：1.3nm

加速电压：0.1 ~ 30kV

可同时显示以显示器为准和以底片为准的两种模式的放大倍率

物镜光阑： 4孔可调式，内置加热自清洁装置

样品台驱动： 5轴马达驱动

通过预抽室交换样品，预抽室端面透明，可观察到样品交换过程

具有顶部、高位和低位三个二次电子探测器，顶部、高位探头可接受SE、BSE图像

主要附件：电制冷能谱仪